光刻机的工作原理是怎样的?光刻机怎么分类?

光刻机的工作原理是怎样的?

光刻机的工作原理为快速放大光源,使光源在几秒内所发射的光脉冲的波长大于被放大的材料原子光谱的截面周长。并且所有组合后光刻机(电脑)要有同等能量以完成光刻。根据原子结构的性质,光刻机会将其切割成一个个的一个一个的微粒。然后再放大,使光带到凹槽外将其刻到光滑的平面上。现在光刻的材料有很多,有很多就是用阳极树脂、玻璃及陶瓷等材料,可以在工作应力下发生形变。

光刻机怎么分类?

光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自动、全自动。

1、手动：指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮改变它的X轴，Y轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了。

2、半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。

3、自动： 指的是 从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。